| 반도체,
LCD 제조 및 청정실 운영 환경 관련 장비 |
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- 가스 분석 및 테스트 시스템
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SunWoo ENG. Co.,
Ltd.
< Gas Analysis & Test Cart > |
| Description of
Products |
| SATC
A01 (SunWoo Analytical Test Cart) |
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제품 개요 |
선우 SATC System은
반도체 공정에서 사용되는 가스와 배관공사 후 수분, 산소 및 particle 등의 불순물 성분을 측정하는 장비로서
이동이 가능하고 sample inlet의 수량을 option으로 선택할 수 있으며 기본적으로 graphic
기능과 chart 표시 기능 및 Data Acquisition 기능을 수반하여 측정시간의 단축과 작업자의 효율성을
증진시킨 full automatic sample change가 가능한 제품. |
| 구성 |
1. Tracer Moisture
Analyzer
2. NanoTrace DF-550 UltraTrace Oxygen Analyzer
3. Met One CNC 1100 Series Condensation Nucleus Counter(Optional)
4. Data Acquisition System for Full Automatic System(Optional)
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| 사양 |
1. Recent Data
monitoring: Graph function
2. Old Data reviewing and monitoring : Chart Function
3. Data Sorting: Continuously data storage in HDD
4. Chart Recording Print Out: Chart Function 1 day / 1 named
file data storage
5. Manual Mode Operation available
6. Full Automatic Mode Operation available
7. Selecting equipment for monitoring : Analyzer function
8. Key-lock function
9. Alarm message display function : Audible and visible alarm
10. 24V Using Solenoid Valve Operation for Pneumatic Valves
11. Two Sample Ports available(for Standard): Can be extended
for sampling ports 7ea standard Push Button for Manua operation
and 1ea spare Push Button, 30 minutes Back up UPS Power Supply
12. Mitzbish PLC for operation of Pneumatic Valves
13. Full Automatic or Semi Automatic Vave Control System |
