반도체, LCD 제조 및 청정실 운영 환경 관련 장비
수분 분석 장비(Moisture Analyzer)
MEECO INC
Description of Products
Tracer
적용
다양한 가스 내에서 수분 함유량 분석(air, Ar, Arsine, *CO2, CO*, CF4*, He, H2, Methane*, Ne*, N2, NF3*, O2, P*, Xe 등 가스에서 적용 가능 ; *표시 gas는 취급 시 특별한 주의를 요함)
특징
1. Faraday 법칙을 이용한 수분량 분석
2. calibration이 필요 없는 cell
3. ppb 수준의 검출(counterflow cell)
4. autoband 를 이용한 SNR 향상
사양
1. 측정범위(Inets : 0-2000ppb/Oxygen: 0-1200 ppb/Hydrogen :0-500ppb)
2. Inlet pressure: 25-150psig
3. Sample flow : 1200sccm recommended
Sprite
적용
Inerts gas안의 수분함유량 분석
특징
1. Faraday 법칙을 이용한 수분량 분석
2. calibration이 필요 없는 cell
3. 50 ppm수준의 검출
사양
측정범위(Inets : 50-1000 ppb)
Inlet pressure:25-150psig
Sample flow : 100 or 200 sccm
Aquamatic+
적용
Inert gas/N2/O2/H2내 수분함유량 분석
특징
1. Faraday 법칙을 이용한 수분량 분석
2. calibration이 필요 없는 cell
3. 35 ppb수준의 검출
사양
Inlets/H2/O2/N2 : 0.000-20.00 ppm
Inlet pressure:5-3000psig
Sample flow : 100 sccm
OA-1S+Oxygen analyzer
적용
초 순수 가스공정에 적용되는 이동식 산소 분석
특징
1. 이동이 용이하고 견고한 외형
2. 다양한 적용: ppb에서 %산소농도까지
3. Electro-polished tubing and fitting
4. auto-ranging. %, ppb, 혹은 ppm으로 O2 concentration으로 나타냄
