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| 반도체,
LCD 제조 및 청정실 운영 환경 관련 장비 |
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진동, 자장 모니터링 시스템
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Response
Dynamics Inc.
<Vibration & Magnetic Monitoring System>
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| Description
of Products |
| VMS1
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특징 |
·반도체,
정밀기계, 건축물 등의 각종 진동 & 자장 민감 장치(구조)에 대한 24시간 모니터링을 통해 문제점의 조기
진단 및 신속한 조치를 가능케 하고 최적의 설치와 운전 환경을 제공 |
| 사양 |
1.
Vibration range: 0.1 to 1600 micro-g(0.0001 to 1.6gal rms) standard
or optional range
2. Frequency range: 1 to 100 Hz standard or optional range
3. Magnetic Field range: 0.01 to 160 milligauss rms or optional
4. Overall accuracy: 3% FS
5. Spectral resolution: 0.1 micro-g & 0.01 milligauss rms standard
6. System Include: sensor, data processing & transferring hardware
and analysis & monitoring software, Portable VMS System |
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