| 반도체,
LCD 제조 및 청정실 운영 환경 관련 장비 |
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가스 분석 및 정화 시스템
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Aeronex
< Gas Purification System > |
| Description
of Products |
| GateKeeper Product Line |
| Point-of-Use Gas
Purification (POU) |
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1.
Maximum flow rate : 1∼60slpm
2. Tool & gas box POU gas purification/ filtration이 가능하도록 고안,
process나 tool에 대한 contamination damage 방지
3. 매우 경제적 |
| Area Purifiers/
Bulk Purifiers |
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1.
Maximum flow rate : 100∼40,000 slpm
2. Area/Bulk purifier는 일반적으로 high flow rate나 high contaminant
challenge에 대한 multi-tool, facility, back-pad, getter back-ups
및 모든 purification application 이 가능
3. 200M 모델은 공정내 hydrocarbon 뿐만 아니라 H2O, O2, CO, CO2등과 같은 가스상
오염물질의 제어가 가능
4. hydrocarbon free purification technology 가 추가된 200M bulk
purifier는 40,000 slpm의 flow rate으로 ppb수준 이하의 오염물질에 대한 pure gas의
공급이
가능 |
| Others Drop-in
Replacements/ Options |
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1.
타 경쟁사의 고가 및 저 용량 장비들에 대해 보다 저가 및 고용량의 성능을 지니는 purifier로 호환 및
전환이 가능
2. inlet/outlet isolation valves, bypass manifold, breakthrou
end-of-life detectors 등의 options |
| Infinity Product Line |
| Infinity Gas Purification
System |
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1.
Maximum Flow Rate : 300∼3000 slpm
2. Continuous supply of pure gas
3. Sub-ppb outlet purity
4. Available for all inert gases, hydrogen, oxygen, ammonia,
compressed dry air (CDA) |
