1) 정전기 제거 장치(static control)
2) 수분 분석 장치(moisture analyzer)
3) 액체, 가스, 진공, 표면 입자 계수기 & 모니터
(Liquid , Gas, Vacuum, and Surface Particle Counter & Monitor)
4) 입자 샘플 및 침적 시스템(Particle Sample & Deposition System)
5) 가스 분석 및 정화 시스템(Gas Analysis & Purification System)
6) 진동, 자장 모니터링 시스템(vibration & magnetic monitoring system)
7) 반도체 조립부품 테스터(Semiconductor Assembly Tester)
8) 데이터 전송, 저장 및 분석에 관한 장비(Data communication, logging & analyzer)