FMS(Facility Monitoring System)란 무엇인가 ?
1. 연속적인 Data로 Gathering이 가능하다
2. Clean room 내 환경수준을 Monitoring
3. 이상상태를 감지하여서 조기 조치가 가능하다
4. 이상징후 예측이 가능하다
5. 최소의 인원으로 환경관리가 가능하다.
6. Network System의 일원화로 운영과 관리간의 Data신뢰성, 투명성 을 확보할수있다.