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구분
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평가항목
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내용
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사용장비
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Environment
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Filter
leak Test |
Filter기
Maker에서 추천하는 공기유동속도에서 작동할때 클린룸안에 위치한 Filter,FilterHousing그리고
지지 구조물에서 Leak가 발생되는 지 검사한다. |
Met-one A2100B
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| Filter
Face Velocity Test |
Open
Plenum System Ceiling, FFU, HEPA/ULPA Box에있어서 Filter를 통과하는 공기의
유동속도가 설계조건을 충족하고 있는가를 확인한다. |
TSI
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| Airborn
Particle Counting |
Test시점에서
Clean Room내의 Actual Particle Count Level(Clean Room)이 설계 Spec을
충족하고 있는지를 검증한다. |
Met-OneA2100B, 2400, 237B
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| Airflow
Parallelism Test & Smoke Profile Test |
작업공간내에서의
기류의 평행도와 내부에서 생성되는 오염 물질의 확산을억제하는 성능을 증명하기 위한 것이다. |
3차원 풍속계,
발연기,실
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| Temperature
& Humidity Test |
설계기준에
규정된온도, 습도 제어정도 및 실내온도, 습도분포를 확인한다 |
TSI
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| Lighting
Level Test |
Clean
Room내 조명기구의 조도(Lux)가 설계치를 충족하는지를확인하다. |
Lux Meter DX-100
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| Sound
Level Test |
Clean
Room내 소음 (DB)가 설계치를 충족하는지를확인하다. |
Sound LevelMeter NA-26
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| Vibration
Level Test |
설계기준에
규정된 진동정도에 대한 시험이다 |
Vibration Meter VM-82
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| Room
Differential Pressure Test |
Clean
Room System이 바깥의 모든 주위 오염영역보다 더 높은 압력을 유지하고 있는지를 확인한다. |
TSI
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Utility
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Gas
Particle Counting |
Clean
Room관련Utility Line중 N2, CDA, Line의 Particle 를 측정하여 Gas 상태및 배관상태를
판단한다. Clean Room사용하는 Gas Line의 수분함량을 측정하여 Gas 상태및 배관상태를 판단한다.
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Met-OneA2100B, 2400, 237B Tracer
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| Gas
Moisture Concentrationest (Dewpoint)Test |
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HAVC
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공기분배계통
풍량, 자동제어 Testing, Adjusting, Blancing |
공기분배계통을
T,A,B하여 Clean Room의 필요환경조건 (온도,습도,차압,Clean Room양압유지 등)을 충족시켜준다. |
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ESD
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Electrostatic
Charge Level Test |
Clean
Room내부의 공정중 발생하는 정전기 또는 일반환경에서 존재하는 정전기의 수준을 측정하여 정전기로 발생될수
있는 문제점 ( Particle,EMI, ESD 등)을 개선 할수있다 |
ISI
Electrostatic Field Meter
Electrostatic Verification Sys.
ESD
Surface Resistivity Meter)
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| Surface
Resistivity Test |
각재질이
갖고있는 표면저항을 측정하여 정전기 관리가 필요한 재질을 선별할수 있으며,Clean Room 에 사용가능한
재질인지의 여부를 판단할수있다. |
| Electrostatic
Decay Time Test |
Ionizer성능
Test |
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Evaluation
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Clean
Bench&Booth Fan Filter Unit
Air Shower & Pass Box Clean Stocker & Lift |
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